| 基于微热板表面离子化源的离子迁移率谱仪研究 |
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| 引用本文： | 郭会勇,何秀丽,贾建,高晓光,李建平.基于微热板表面离子化源的离子迁移率谱仪研究[J].分析化学,2008,36(11). |
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| 作者姓名： | 郭会勇 何秀丽 贾建 高晓光 李建平 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190 |
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| 摘 要： | 根据表面离化机理和离子迁移率谱检测方式,设计和制备了一种基于表面离化源的离子迁移率谱仪(IMS)。表面离化源为采用微机电系统(MEMS)工艺加工的微热板阵列,除了作为离子产生器,还作为漂移管的一个离子栅,用以实现离子向漂移区的注入。测试了该IMS对三乙胺的响应特性并研究了离子注入时间对离子迁移率谱的影响。结果表明,基于微热板表面离化源的离子迁移率谱仪对三乙胺具有很好的动态响应特性,三乙胺浓度的平方根与离子峰面积具有较好的线性关系,检出限可达6×10-8(V/V)。此外,与传统的放射离化IMS相比,这种IMS还具有离子注入时间短和离子迁移率谱基电流为零等特点。
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| 关 键 词： | 离子迁移率谱仪 表面离化 微机电系统工艺 三乙胺 |
An Ion Mobility Spectrometer with a Micro-hotplate Surface Ionization Source |
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| GUO Hui-Yong,HE Xiu-Li,JIA Jian,GAO Xiao-Guang,Li Jian-Ping.An Ion Mobility Spectrometer with a Micro-hotplate Surface Ionization Source[J].Chinese Journal of Analytical Chemistry,2008,36(11). |
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| Authors: | GUO Hui-Yong HE Xiu-Li JIA Jian GAO Xiao-Guang Li Jian-Ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ion mobility spectrometer surface Ionization micro-electro-mechanical system process tri-ethylamine |
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