| 镍表面三维微图形的复制加工 |
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| 引用本文： | 刘柱方,蒋利民,汤儆,张力,田中群,田昭武,刘品宽,孙立宁.镍表面三维微图形的复制加工[J].电化学,2004,10(3):249-253. |
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| 作者姓名： | 刘柱方 蒋利民 汤儆 张力 田中群 田昭武 刘品宽 孙立宁 |
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| 作者单位： | 厦门大学化学系,固体表面物理化学国家重点实验室,福建,厦门,361005;哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 科技部 863计划项目 (2 0 0 2AA40 41 70 )资助 |
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| 摘 要： | 运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工，以规整的三维齿状微结构作模板，获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系，在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征刻蚀图案，证实CELT可用于金属表面Ni的三维微图形刻蚀加工．
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| 关 键 词： | 约束刻蚀剂层技术 镍 三维微加工 化学刻蚀 电化学 |
| 文章编号： | 1006-3471(2004)03-0249-05 |
| 修稿时间： | 2004年2月21日 |
Chemical Microetching of Three-dimensional Gear-like Pattern on Nickel Surface |
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| LIU Zhu-fang.Chemical Microetching of Three-dimensional Gear-like Pattern on Nickel Surface[J].Electrochemistry,2004,10(3):249-253. |
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| Authors: | LIU Zhu-fang |
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| Institution: | LIU Zhu-fang~ |
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| Abstract: | The chemical micromachining on nickel surface with three-dimensional (3D) gear-like mold was realized by confined etchant layer technique (CELT). By using effective chemical etching and scavenging system (HNO_(3) + NaOH) and optimizing experimental parameters, such as the etching time, etching current density, concentration of the etchant or and scavenger, we obtained the etched pattern, which is close to negative copy of the mold. The etched micro-pattern characterized by SEM and AFM, demonstrates that CELT can be applied to the 3-D microstructure replication on nickel surface . |
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| Keywords: | Confined etchant layer technique (CELT) Nickel 3D-microfabrication Chemical etching Electrochemistry |
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