| 扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展 |
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| 引用本文： | 高尚,黄梦诗,杨振英,马清.扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展[J].分析科学学报,2022,38(1):115-121. |
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| 作者姓名： | 高尚 黄梦诗 杨振英 马清 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院,广东深圳518055,深圳市美信检测技术股份有限公司,广东深圳518108,哈尔滨工业大学(深圳)实验与创新实践教育中心,广东深圳518055 |
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| 基金项目： | 教育部卓越工程师教育培养计划项目产学合作协同育人项目;哈工大(深圳)高水平大学实验中心项目 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | X射线能谱仪 硅漂移探测器 锂漂移硅探测器 低加速电压 多元成分分析 |
Technical Progress of X-ray Energy Dispersive Spectroscopy in Scanning Electron Microscope |
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| GAO Shang,HUANG Mengshi,YANG Zhenying,MA Qing.Technical Progress of X-ray Energy Dispersive Spectroscopy in Scanning Electron Microscope[J].Journal of Analytical Science,2022,38(1):115-121. |
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| Authors: | GAO Shang HUANG Mengshi YANG Zhenying MA Qing |
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