| 西门子法生产多晶硅的热力学 |
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| 引用本文： | 苗军舰,陈少纯,丘克强.西门子法生产多晶硅的热力学[J].无机化学学报,2007,23(5):795-801. |
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| 作者姓名： | 苗军舰 陈少纯 丘克强 |
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| 作者单位： | 1. 中南大学化学化工学院,长沙,410083
2. 广州有色金属研究院,广州,510651 |
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| 基金项目： | 广东省教育部产学研结合专项资金 |
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| 摘 要： | 应用有关热力学数据研究了与西门子法相关的“Si-Cl-H”三元系的复杂化学反应，分别绘制了在体系中存在的15个化学反应的ΔrGm?-T图和Kp?-T图；还给出在不同压强和不同SiHCl3/H2初始比例时的平衡气相成分、η-产率随温度的变化图以及在不同的压强下α因数随SiHCl3初始物质的量的分数的变化图。热力学研究结果表明，高温、低压和小的SiHCl3/H2初始物质的量的比对SiHCl3还原有利；α因数随着SiHCl3初始物质的量的比x40的增大而增大。
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| 关 键 词： | 西门子法 多晶硅 “Si-Cl-H”体系 热力学 |
| 文章编号： | 1001-4861(2007)05-0795-07 |
| 修稿时间： | 2006-09-26 |
Thermodynamic Study on Production of the Multicrystalline Silicon by Siemens Process |
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| MIAO Jun-Jian,CHEN Shao-Chun and QIU Ke-Qiang.Thermodynamic Study on Production of the Multicrystalline Silicon by Siemens Process[J].Chinese Journal of Inorganic Chemistry,2007,23(5):795-801. |
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| Authors: | MIAO Jun-Jian CHEN Shao-Chun and QIU Ke-Qiang |
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| Institution: | School of Chemistry and Chemical Engineering, Central South University, Changsha 410083,Guangzhou Nonferrous Research Institute, Guangzhou 510651 and School of Chemistry and Chemical Engineering, Central South University, Changsha 410083 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | siemens process multicrystalline silicon "Si-Cl-H"system thermodynamics |
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