| 燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 黄树涛,张志军,姚英学,袁哲俊.燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究[J].人工晶体学报,1999,28(1):74-78. |
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| 作者姓名： | 黄树涛 张志军 姚英学 袁哲俊 |
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| 作者单位： | 沈阳工业学院机械工程系,沈阳,110015;哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目，辽宁省自然科学基金，，，， |
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| 摘 要： | 采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜.实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽.
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| 关 键 词： | 燃焰法 金刚石薄膜 化学气相沉积 |
Study on the Depositing High Quality Transparent Diamond Films by Combustion Flame Method |
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| Huang Shutao,Zhang Zhijun,Yao Yingxue,Yuan Zhejun.Study on the Depositing High Quality Transparent Diamond Films by Combustion Flame Method[J].Journal of Synthetic Crystals,1999,28(1):74-78. |
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| Authors: | Huang Shutao Zhang Zhijun Yao Yingxue Yuan Zhejun |
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