| 在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究 |
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| 引用本文： | 杨锡林,张连翰,邹军,何晓明,宋词,周圣明,杭寅.在钛酸锶衬底上外延生长ZnO薄膜及其性能研究[J].人工晶体学报,2007,36(1):106-109. |
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| 作者姓名： | 杨锡林 张连翰 邹军 何晓明 宋词 周圣明 杭寅 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 用脉冲激光淀积法(PLD)在(111)面SrTiO3衬底上外延生长ZnO单晶薄膜.样品分别在衬底温度为350℃、500℃、600℃下外延生长.X射线衍射(XRD)的结果表明,所得的ZnO单晶薄膜结晶性能好,只出现(002)和(004)两个衍射峰,(002)峰的半高宽度(FWHM)为0.23°.在荧光光谱中我们只观察到来源于带边激子跃迁的强UV发射,并且随着生长温度的升高,紫外峰的强度逐渐增强.样品的SEM图像表明所得ZnO薄膜表面平整,晶粒均匀.衬底温度为600℃时,所得到的ZnO薄膜结构完整,晶粒尺寸最大,均匀;而且紫外发射最强.
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| 关 键 词： | PLD 紫外发射 ZnO薄膜 SrTiO3 |
| 文章编号： | 1000-985X（2007）01-0106-04 |
| 修稿时间： | 2006-05-10 |
Growth and Properties of ZnO Thin Film on (111)SrTiO3 |
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| YANG Xi-lin,ZHANG Lian-han,ZOU Jun,HE Xiao-ming,SONG Ci,ZHOU Sheng-ming,HANG Yin.Growth and Properties of ZnO Thin Film on (111)SrTiO3[J].Journal of Synthetic Crystals,2007,36(1):106-109. |
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| Authors: | YANG Xi-lin ZHANG Lian-han ZOU Jun HE Xiao-ming SONG Ci ZHOU Sheng-ming HANG Yin |
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| Institution: | Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PLD SrTiO3 |
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