| 可见近红外双波段增透膜的设计及制备 |
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| 引用本文： | 李帅,孙亚军,刘桂林,朱华新,郭颖,李果华.可见近红外双波段增透膜的设计及制备[J].人工晶体学报,2014,43(7):1769-1773. |
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| 作者姓名： | 李帅 孙亚军 刘桂林 朱华新 郭颖 李果华 |
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| 作者单位： | 江南大学理学院,无锡,214122 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金(S2012020010885);广东科学技术职业学院校级科研项目(XJZD201304) |
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| 摘 要： | 以K9为基底设计了一种覆盖部分可见及近红外双波段的增透膜,即:增透波长包括0.55 ～0.78μm和1.0～1.3 μm两个波段.工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料.利用岛津分光光度计对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明0.55 ～0.78μm波段平均透过率为98.01;,1.0～1.3μm波段平均透过率达到97.04;.通过SEM的膜层截面证实实际膜层厚度相对于设计值来说偏厚,致使透射率光谱曲线略往长波方向漂移,但所需波段内平均透过率仍可满足所需光学特性.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中.
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| 关 键 词： | 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率 |
Design and Fabrication of Visible and Infrared Dual-band AR Coating |
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| LI Shuai,SUN Ya-jun,LIU Gui-lin,ZHU Hua-xin,GUO Ying,LI Guo-hua.Design and Fabrication of Visible and Infrared Dual-band AR Coating[J].Journal of Synthetic Crystals,2014,43(7):1769-1773. |
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| Authors: | LI Shuai SUN Ya-jun LIU Gui-lin ZHU Hua-xin GUO Ying LI Guo-hua |
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