基于CVD自组装生长氧化锌半导体纳米结构的光电导紫外探测器研究 |
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引用本文: | 刘晗,赵小龙,彭文博,贺永宁.基于CVD自组装生长氧化锌半导体纳米结构的光电导紫外探测器研究[J].人工晶体学报,2014(8). |
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作者姓名: | 刘晗 赵小龙 彭文博 贺永宁 |
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作者单位: | 西安交通大学电子与信息工程学院; |
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基金项目: | 中央高校基本科研业务费专项资金(xkjc2014011) |
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摘 要: | 报道了一种基于自组装生长ZnO纳米结构的光电导型紫外探测器。首先,在石英衬底上制备银叉指电极,然后溅射ZnO纳米薄膜形成一种共面光电导型金属-半导体-金属(MSM)结构,再利用低压CVD生长方法进行ZnO纳米线的原位生长,从而在器件顶部形成了ZnO纳米线垂直阵列和其上交错排列ZnO纳米线所构成的双层ZnO纳米线结构。这种器件底部的ZnO薄膜既是MSM光电导器件的电荷传输层,也同时作为上层ZnO纳米结构自组装生长的籽晶层,顶部的ZnO纳米结构层作为紫外光敏感层,测试结果表明该器件具有光响应速度快、光响应电流大和良好的紫外响应可分辨特性。研究表明,相比于单根ZnO纳米线光电导紫外器件而言,基于ZnO纳米结构膜层的光电导紫外探测器能够大幅度提高可测光响应电流。
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关 键 词: | 氧化锌纳米结构膜 自组装 紫外探测 |
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