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Piranha化学法与化学浴沉积制备Sb2S3薄膜
引用本文:刘剑.Piranha化学法与化学浴沉积制备Sb2S3薄膜[J].人工晶体学报,2014,43(12):3318-3322.
作者姓名:刘剑
作者单位:唐山学院环境与化学工程系,唐山,063000
基金项目:河北省高等学校科学技术研究项目(QN20132015);唐山市科技计划项目(14130287a);唐山学院学科建设基金(TSC2013003);唐山学院科研基金(13003B)
摘    要:采用Piranha化学法与化学浴沉积技术相结合,在玻璃基板上成功制备了Sb2S3薄膜.研究了Piranha溶液不同处理时间对基板表面润湿性的影响,同时研究了Sb2S3薄膜相组成及形貌.结果表明,Piranha溶液能够有效地改善玻璃基板表面的润湿性,当处理时间为25 min时,基板表面润湿角达到最低值12.83°.Piranha溶液处理后的基板对于Sb2S3薄膜的沉积具有积极的诱导作用.沉积得到薄膜经200℃煅烧1h,由非晶态转变为正交相,薄膜在基板表面以单层球形颗粒平铺堆积生长.

关 键 词:Sb2S3薄膜  化学浴沉积  Piranha化学法  

Preparation of Sb2S3 Thin Film by Chemical Bath Deposition and Piranha Chemistry Method
LIU Jian.Preparation of Sb2S3 Thin Film by Chemical Bath Deposition and Piranha Chemistry Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2014,43(12):3318-3322.
Authors:LIU Jian
Abstract:
Keywords:
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