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| 电弧分区特征对金刚石形核的影响 | |
| 引用本文： | 左振博,郭建超,刘金龙,陈良贤,朱瑞华,闫雄伯,魏俊俊,黑立富,李成明.电弧分区特征对金刚石形核的影响[J].人工晶体学报,2014(10). |
| 作者姓名： | 左振博 郭建超 刘金龙 陈良贤 朱瑞华 闫雄伯 魏俊俊 黑立富 李成明 |
| 作者单位： | 北京科技大学新材料技术研究院; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51272042);教育部博士点基金(2011000110011) |
| 摘 要： | 在直流电弧等离子体喷射CVD法制备金刚石膜中,电弧可分为弧心、弧干、弧边三个区域。本文主要阐述了电弧的分区特征,讨论电弧区域特征对金刚石形核的影响。同时,以电弧分区特征为基础,探讨了预处理方式和温度对金刚石形核的关联影响。结果表明:形核初期对应于TiC粉的Raman谱,衬底的钛过渡层表面形成了TiC的过渡层,弧心区域金刚石形核迅速,形核密度较高,而在弧边区域金刚石形核缓慢,形核密度相对较低。 |
| 关 键 词： | 电弧分区 形核 金刚石 |
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