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| 长春光机所研制出百瓦级微小型垂直腔面发射半导体激光模块 | |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; |
| 摘 要： | <正>中国科学院长春光学精密机械与物理研究所大功率激光研究组开发出了利用4个高功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)单管串接形成的百瓦级980 nm波段高功率准列阵模块。该模块采用全自主化设计的芯片结构及模块结构,模块尺寸仅有2.2 mmX2.2 mm,输出功率高达210 W,这是单管VCSEL模块迄今为止所报道的最高功率指标。该突破使得微小型高功率VCSEL模块有望在激光引信、激光测距及激光面阵雷 |
| 关 键 词： | 面发射 微小型 VCSEL 半导体激光器 光机所 模块结构 芯片结构 大功率半导体 面阵 电类 |
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