| 电沉积二氧化钛功能薄膜的制备与组织转变研究 |
| |
| 引用本文： | 吴玉程,叶敏,解挺,马杰,李广海,张立德.电沉积二氧化钛功能薄膜的制备与组织转变研究[J].人工晶体学报,2006,35(3):612-616. |
| |
| 作者姓名： | 吴玉程 叶敏 解挺 马杰 李广海 张立德 |
| |
| 作者单位： | 合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;中国科学院固体物理研究所,合肥,230031;合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥,230009;中国科学院固体物理研究所,合肥,230031 |
| |
| 基金项目： | 国家重大基础研究(973)项目:纳米材料与纳米结构(G19990645)，安徽省“十五”重大科技专项(No.01402007) |
| |
| 摘 要： | 采用直流电沉积方法,在石墨板上成功制备了半导体二氧化钛功能薄膜前驱体,分析讨论了电沉积过程中实验参数对TiO2前驱体成膜的影响,获得了制备二氧化钛膜最佳工艺参数.TiO2前驱体沉积速率随着电流密度的增大而增加,为了保证薄膜质量,将电流密度控制在5～45mA/cm2之间;溶液浓度对沉积速率也有影响,当溶液中TiCl4:H2O2=1:2时沉积速率最大;最佳沉积温度为5-10℃.运用差热分析、XRD相结构分析和SEM等手段,研究了该前驱体到锐钛矿相(anatase)和金红石相(rutile)二氧化钛的组织相转变过程,300℃热处理得到锐钛矿相的二氧化钛,650℃热处理后出现金红石相.
|
| 关 键 词： | 直流电沉积 二氧化钛 薄膜 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）03-0612-05 |
| 收稿时间： | 09 27 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 2005-09-27 |
Electrodeposited Functional Titania Film and Microstructure Transformation |
| |
| WU Yu-cheng,YE Min,XIE Ting,MA Jie,LI Guang-hai,ZHANG Li-de.Electrodeposited Functional Titania Film and Microstructure Transformation[J].Journal of Synthetic Crystals,2006,35(3):612-616. |
| |
| Authors: | WU Yu-cheng YE Min XIE Ting MA Jie LI Guang-hai ZHANG Li-de |
| |
| Institution: | 1. School of Materials Science and Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009 ,China; 2. Institute of Solid State Physics, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031 ,China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | DC electrodepostion TiO_2 thin film |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《人工晶体学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《人工晶体学报》下载免费的PDF全文 |
|
