电子辅助热丝CVD法合成金刚石膜 |
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引用本文: | 曲承林,刘训民.电子辅助热丝CVD法合成金刚石膜[J].人工晶体学报,1996,25(1):62-68. |
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作者姓名: | 曲承林 刘训民 |
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摘 要: | 本文采用电子辅助热丝化学气相沉积法合成了厚度为440μm的金刚石膜。实验结果表明,适当地选择和控制各种沉积参数,可获得高质量的金刚石膜。本文还分析和讨论了基板温度、偏流、压强和甲烷浓度对金刚石膜质量的影响以及它们之间的相互关系。
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关 键 词: | 化学气相沉积 金刚石薄膜 合成 半导体薄膜 |
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