| 硅基外延SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器的结构和性能研究 |
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| 引用本文： | 朱慧娟,刘保亭,代秀红,郭建新,周阳.硅基外延SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器的结构和性能研究[J].人工晶体学报,2013,42(3):428-431. |
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| 作者姓名： | 朱慧娟 刘保亭 代秀红 郭建新 周阳 |
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| 作者单位： | 河北大学物理科学与技术学院,保定,071002 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省自然科学基金(E2011201092) |
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| 摘 要： | 传统的方法很难直接在硅衬底上制备外延的氧化物铁电电容器,本实验采用生长在硅衬底上的外延SrTiO3为模板,直接生长了SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器异质结,并对其结构及性能进行了研究.X射线衍射表明所制备的SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3异质结实现了在硅衬底上的外延生长.在5V测试电压下,铁电电容器的剩余极化强度和矫顽电压分别为19.6μC/cm2和0.8V.当极化翻转次数达到1010时,铁电电容器的极化强度没有明显的衰减,表明SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器具有良好的抗疲劳性能.
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| 关 键 词： | 硅衬底 外延生长 SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3异质结 |
Structure and Properties of Si Based Epitaxial SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3 Capacitor |
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| ZHU Hui-juan,LIU Bao-ting,DAI Xiu-hong,GUO Jian-xin,ZHOU yang.Structure and Properties of Si Based Epitaxial SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3 Capacitor[J].Journal of Synthetic Crystals,2013,42(3):428-431. |
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| Authors: | ZHU Hui-juan LIU Bao-ting DAI Xiu-hong GUO Jian-xin ZHOU yang |
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