| 共蒸发三步法制备CIGS薄膜的相变过程 |
| |
| 引用本文： | 刘芳芳,张力,何青.共蒸发三步法制备CIGS薄膜的相变过程[J].人工晶体学报,2012,41(6):1519-1523. |
| |
| 作者姓名： | 刘芳芳 张力 何青 |
| |
| 作者单位： | 南开大学薄膜器件与技术研究所,天津,300071 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，中央高校基本科研业务费专项资金 |
| |
| 摘 要： | 本文采用共蒸发三步法沉积Cu(In,Ga) Se2 (CIGS)薄膜,其中关于Cu化合物的相转变过程是制约吸收层质量的关键.本文详细研究了三步法工艺中吸收层由贫Cu薄膜向富Cu薄膜转变的相变过程,通过X射线衍射仪(XRD)、X射线荧光光谱仪(XRF)及扫描电镜(SEM)结合的方法总结出三步法工艺的相变过程.
|
| 关 键 词： | CIGS薄膜 共蒸发三步法 相变过程 |
Phase Transformation of CIGS Film Prepared by Co-evaporation "Three-stage Process" |
| |
| LIU Fang-fang
,
ZHANG Li
,
HE Qing.Phase Transformation of CIGS Film Prepared by Co-evaporation "Three-stage Process"[J].Journal of Synthetic Crystals,2012,41(6):1519-1523. |
| |
| Authors: | LIU Fang-fang ZHANG Li HE Qing |
| |
| Institution: | (Institute of Photoelectronic Thin Film Devices and Technique,Nankai University,Tianjin 300071,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《人工晶体学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《人工晶体学报》下载免费的PDF全文 |
|
