| Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性 |
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| 引用本文： | 汪洪,苏凤莲,宋学平,刘艳美,李爱侠,周圣明,孙兆奇.Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性[J].人工晶体学报,2006,35(2):302-305. |
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| 作者姓名： | 汪洪 苏凤莲 宋学平 刘艳美 李爱侠 周圣明 孙兆奇 |
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| 作者单位： | 安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 安徽省优秀青年科技基金;安徽省高校学术和技术带头人后备人选科研项目 |
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| 摘 要： | 用脉冲激光沉积法在Al2O3(0001)衬底上沉积了ZnO薄膜.衬底温度分别为300℃、400℃、500℃、600℃和700℃.利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究.X射线衍射的结果表明在不同温度下生长的ZnO薄膜均具有高度c轴择优取向,衬底温度400℃时,膜的应力较小质量较高.ZnO薄膜有很强的紫外发光峰,紫外发光峰的强度与衬底温度密切相关,并发现当衬底温度从300℃增到400℃时,紫外发射峰出现6nm的蓝移.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 脉冲激光沉积 X射线衍射 光致发光谱 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）02-0302-04 |
| 收稿时间： | 08 1 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 2005-08-01 |
Structural and Optical Properties of ZnO Films on Al2O3 Substrates |
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| WANG Hong,SU Feng-lian,SONG Xue-ping,LIU Yan-mei,LI Ai-xia,ZHOU Sheng-ming,SUN Zhao-qi.Structural and Optical Properties of ZnO Films on Al2O3 Substrates[J].Journal of Synthetic Crystals,2006,35(2):302-305. |
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| Authors: | WANG Hong SU Feng-lian SONG Xue-ping LIU Yan-mei LI Ai-xia ZHOU Sheng-ming SUN Zhao-qi |
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| Institution: | 1. Anhui Key Laboratory of Information Materials and Devices, School of Physics and Material Science, Anhui University, Hefei 230039, China; 2. Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film PLD XRD photoluminescence |
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