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Y3+掺杂BST/ZrO2复合薄膜的制备及介电性能研究
引用本文:姜楠,刘军,洪玮,张娟,吴伟骏,林鹏飞,骆英.Y3+掺杂BST/ZrO2复合薄膜的制备及介电性能研究[J].人工晶体学报,2016,45(7):1963-1969.
作者姓名:姜楠  刘军  洪玮  张娟  吴伟骏  林鹏飞  骆英
作者单位:江苏大学材料科学与工程学院,镇江,212013;江苏省高端结构材料重点实验室,镇江,212013;江苏大学土木工程与力学学院,镇江,212013
摘    要:运用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt基底上制备了掺杂不同量的Y3+的单层Ba0.65Sr0.35TiO3 (BST)薄膜和并联结构的BST/ZrO2复合薄膜.研究发现:当BST溶胶中掺入了适量的Y3+后,制备的单层BST的表面形貌得到改善,介电性能提高;掺杂的Y3+为1mol;时单层BST薄膜介电性能最佳,介电常数为400.53;介电损耗为0.0125.BST/ZrO2复合薄膜的电容值相对于单层BST薄膜得到明显提高,当烧结温度为750℃时,BST/ZrO2复合薄膜综合介电性能最佳,介电常数790.12;介电损耗达到0.051.

关 键 词:溶胶-凝胶法  BST薄膜  BST/ZrO2复合薄膜  介电性能  

Study on Preparation and Dielectric Properties of Y3+-doped BST/ZrO2 Composite Thin Film
JIANG Nan,LIU Jun,HONG Wei,ZHANG Juan,WU Wei-jun,LIN Peng-fei,LUO Ying.Study on Preparation and Dielectric Properties of Y3+-doped BST/ZrO2 Composite Thin Film[J].Journal of Synthetic Crystals,2016,45(7):1963-1969.
Authors:JIANG Nan  LIU Jun  HONG Wei  ZHANG Juan  WU Wei-jun  LIN Peng-fei  LUO Ying
Abstract:
Keywords:sol-gel  BST thin film  BST/ZrO2 composite thin film  dielectric property
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