| 硅基(001)取向Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3薄膜的制备及其铁电性能研究 |
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| 引用本文： | 张程浩,狄杰建,谭培培,李明勇,赵全亮,谭晓兰,王大伟.硅基(001)取向Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3薄膜的制备及其铁电性能研究[J].人工晶体学报,2016,45(8):2056-2060. |
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| 作者姓名： | 张程浩 狄杰建 谭培培 李明勇 赵全亮 谭晓兰 王大伟 |
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| 作者单位： | 北方工业大学机械与材料工程学院,北京,100144 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51305005;51375017)，北京市自然科学基金委员会-北京市科学技术研究院联合资助项目(16L00001) |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法在LaNiO3/Si衬底上制备了6;Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-94; Pb(Zr0.52 Ti0.48) O3 (PMnN-PZT)铁电薄膜,对其微结构和铁电特性进行了研究.结果表明,该铁电薄膜呈(001)高度择优取向,取向度高达98;.经过1010次铁电循环测试,铁电薄膜无疲劳现象;在104 s时间内,薄膜的铁电保持和印记特性稳定,无明显退化.该结果说明LaNiO3氧化物电极会降低PMnN-PZT薄膜的氧空位浓度,有效地缓解了电荷注入的问题,因此改善了PMnN-PZT薄膜的铁电性能.
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| 关 键 词： | 锰铌锆钛酸铅 镍酸镧 铁电性能 磁控溅射 |
Study on Ferroelectric Properties of (001)-oriented Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared on Si Substrate |
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| ZHANG Cheng-hao,DI Jie-jian,TAN Pei-pei,LI Ming-yong,ZHAO Quan-liang,TAN Xiao-lan,WANG Da-wei.Study on Ferroelectric Properties of (001)-oriented Pb(Mn1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared on Si Substrate[J].Journal of Synthetic Crystals,2016,45(8):2056-2060. |
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| Authors: | ZHANG Cheng-hao DI Jie-jian TAN Pei-pei LI Ming-yong ZHAO Quan-liang TAN Xiao-lan WANG Da-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PMnN-PZT LNO ferroelectric property magnetron sputtering |
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