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磁控反应法制备氧化银薄膜的研究
引用本文:刘绪伟,郜小勇,赵剑涛,吴芳,王子健.磁控反应法制备氧化银薄膜的研究[J].人工晶体学报,2006,35(6):1337-1340.
作者姓名:刘绪伟  郜小勇  赵剑涛  吴芳  王子健
作者单位:郑州大学教育部材料物理重点实验室,郑州,450052
摘    要:采用磁控反应溅射法,分别在室温和90℃条件下制备了两个系列的氧化银薄膜,其中氧氩比从1:4变化到2:1. SEM表明薄膜中的氧化银纳米颗粒尺寸均小于30nm.XRD表明随制备温度的提高AgO衍射峰减弱,Ag2O衍射峰增强,揭示了在成膜过程中,温度提高引起AgO热分解为Ag2O.分光光度计测量的反射谱和吸收谱表明氧化银的吸收边在400 nm附近,计算的氧化银禁带宽度约为3.1eV.通过对银的特征峰(312nm处)向短波方向的移动和消失分析证实氧氩比增大的确有助于银的完全氧化, 并且氧氩比2:1条件下制备的样品质量较佳.

关 键 词:磁控溅射  氧化银  热分解  
文章编号:1000-985X(2006)06-1337-04
收稿时间:04 24 2006 12:00AM
修稿时间:2006-04-24

Study of Silver Oxide Film Prepared by Magnetron-controlled Sputtering
LIU Xu-wei,GAO Xiao-yong,ZHAO Jian-tao,WU Fang,WANG Zi-jian.Study of Silver Oxide Film Prepared by Magnetron-controlled Sputtering[J].Journal of Synthetic Crystals,2006,35(6):1337-1340.
Authors:LIU Xu-wei  GAO Xiao-yong  ZHAO Jian-tao  WU Fang  WANG Zi-jian
Institution:The Key Laboratory of Materials Physics of Ministry of Education, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China
Abstract:
Keywords:magnetron-controlled sputtering  silver oxide  thermal decomposition
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