| 非晶金刚石薄膜的sp3键成分的XPS谱研究 |
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| 引用本文： | 魏爱香,陈弟虎,周有国.非晶金刚石薄膜的sp3键成分的XPS谱研究[J].人工晶体学报,2003,32(2):179-182. |
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| 作者姓名： | 魏爱香 陈弟虎 周有国 |
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| 作者单位： | 海军广州舰艇学院,广州510430;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,离子束重点实验室,上海,200050;中山大学物理系,广州,510275 |
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| 摘 要： | 把非晶金刚石薄膜的XPS C1s谱分解为中心在284.4±0.1eV 和285.2±0.1eV的两个高斯特征峰,分别对应于碳薄膜中的sp2C和sp3C.用这两个高斯特征峰的面积除以C1s谱的总面积,得出非晶金刚石薄膜中sp2C和sp3C的比例.用上述方法对sp3C比例不同的一组样品进行了分析计算,并与先前用紫外-可见光吸收光谱和拉曼光谱对同一组样品分析得出的结果进行了比较,结果表明:用XPS谱能简便而有效地定量确定非晶金刚石薄膜中sp2C和sp3C的比例,且这种方法适用于所有功能碳薄膜.
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| 关 键 词： | 非晶金刚石薄膜 X射线光电子能谱 sp3C比例 |
| 文章编号： | 1000-985X(2003)02-0179-04 |
| 修稿时间： | 2002年9月18日 |
X-ray Photoelectron Spectroscopy Studies of Amorphous Diamond Films |
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| WEI Ai-xiang ,CHEN Di-hu ,ZHOU You-guo.X-ray Photoelectron Spectroscopy Studies of Amorphous Diamond Films[J].Journal of Synthetic Crystals,2003,32(2):179-182. |
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| Authors: | WEI Ai-xiang CHEN Di-hu ZHOU You-guo |
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| Institution: | WEI Ai-xiang 1,2,CHEN Di-hu 3,ZHOU You-guo 1,2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | amorphous diamond film X-ray photoelectron spectroscopy sp 3C fraction |
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