| p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响 |
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| 引用本文： | 范红兵,张晓丹,赵颖,孙建,魏长春,谷士彬,张存善.p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响[J].人工晶体学报,2006,35(4):739-742. |
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| 作者姓名： | 范红兵 张晓丹 赵颖 孙建 魏长春 谷士彬 张存善 |
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| 作者单位： | 河北工业大学信息学院,天津,300130;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津,300071;河北工业大学信息学院,天津,300130 |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金(No.05YFJMTC01600)，国家自然科学基金项目(No.60506003)，天津市科技攻关项目(No.043186511)资助 |
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| 摘 要： | 本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO 薄膜.研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响.霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm- 3 .样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳.
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| 关 键 词： | ZnO p型传导 超声喷雾热分解 衬底温度 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）04-0739-04 |
| 收稿时间： | 01 25 2006 12:00AM |
| 修稿时间： | 2006-01-25 |
Synthesis of p-type ZnO Thin Films and Influence of Substrate Temperature on Their Properties |
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| FAN Hong-bing,ZHANG Xiao-dan,ZHAO Ying,SUN Jian,WEI Chang-chun,GU Shi-bin,ZHANG Cun-shan.Synthesis of p-type ZnO Thin Films and Influence of Substrate Temperature on Their Properties[J].Journal of Synthetic Crystals,2006,35(4):739-742. |
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| Authors: | FAN Hong-bing ZHANG Xiao-dan ZHAO Ying SUN Jian WEI Chang-chun GU Shi-bin ZHANG Cun-shan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO p-type conduction ultrasonic spray pyrolysis substrate temperature |
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