| 单质靶溅射制备CZTS薄膜及太阳电池 |
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| 引用本文： | 蒋志,李志山,杨敏,刘思佳,刘涛,郝瑞亭,王书荣.单质靶溅射制备CZTS薄膜及太阳电池[J].人工晶体学报,2015,44(12):3582-3587. |
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| 作者姓名： | 蒋志 李志山 杨敏 刘思佳 刘涛 郝瑞亭 王书荣 |
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| 作者单位： | 云南师范大学太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省农村能源重点工程实验室,昆明650500 |
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| 基金项目： | 国家科技合作重点项目(2011DFA62380);国家自然科学基金(61176127,61167003) |
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| 摘 要： | 采用单质靶磁控溅射制备Cu2ZnSnS4 (CZTS)薄膜,研究了薄膜的元素组分、升温速率、硫化温度对薄膜表面平整性以及晶粒尺寸的影响.通过SEM与AFM表征薄膜的表面形貌与表面粗糙度,用EDS检测薄膜的元素组分.所制备的样品的Cu/(Zn+ Sn)、Zn/Sn处于最优范围.通过XRD及Raman检测薄膜的结晶情况以及薄膜中的二次相,经上述测试分析判定CZTS薄膜品质良好.最终制备出以CZTS为吸收层的薄膜太阳电池,并用Ⅰ～V特性检验了CZTS电池性能参数,得到效率为0.83;的CZTS薄膜太阳电池,并通过改进硫化退火工艺将效率提高至1.58;.
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| 关 键 词： | CZTS薄膜 磁控溅射 硫化 转换效率 |
Fabrication of CZTS Thin Film and Solar Cells by Element Targets |
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| JIANG Zhi,LI Zhi-shan,YANG Min,LIU Si-jia,LIU Tao,HAO Rui-ting,WANG Shu-rong.Fabrication of CZTS Thin Film and Solar Cells by Element Targets[J].Journal of Synthetic Crystals,2015,44(12):3582-3587. |
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| Authors: | JIANG Zhi LI Zhi-shan YANG Min LIU Si-jia LIU Tao HAO Rui-ting WANG Shu-rong |
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