| 不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究 |
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| 引用本文： | 黄树涛,于骏一,姚英学,袁哲俊.不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究[J].人工晶体学报,1999,28(3):279-282. |
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| 作者姓名： | 黄树涛 于骏一 姚英学 袁哲俊 |
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| 作者单位： | 吉林工业大学机械工程系,长春130025;哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 研究了金刚石薄膜在WC-6;Co硬质合金、金属W和单晶Si片上的成核特点.实验结果表明,金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同.用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶Si片上的成核密度有较大影响,而对在WC-6;Co硬质合金和金属W上的成核密度没有太大影响.
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 成核密度 衬底材料 化学气相沉积 |
Study on the Diamond Film Nucleation Feature of Different Substrate Materials |
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| Huang Shutao,Yu Junyi,Yao Yingxue,Yuan Zhejun.Study on the Diamond Film Nucleation Feature of Different Substrate Materials[J].Journal of Synthetic Crystals,1999,28(3):279-282. |
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| Authors: | Huang Shutao Yu Junyi Yao Yingxue Yuan Zhejun |
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