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| 溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质 | |
| 引用本文： | 黄凯,吕建国,刘先松,唐震.溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质[J].人工晶体学报,2010,39(5). |
| 作者姓名： | 黄凯 吕建国 刘先松 唐震 |
| 作者单位： | 1. 安徽建筑工业学院数理系,合肥,230601 2. 合肥师范学院物理与电子工程系,合肥,230601 3. 安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目 |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶技术在Si(111)和石英玻璃衬底上制备了Mg掺杂ZnO薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计测试薄膜的微结构、表面形貌和光学性质。结果表明:所得Mg掺杂ZnO薄膜仍为六角纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,随着退火温度升高,薄膜的晶格常数c由0.5288 nm减小到0.5278 nm,粗糙度从3.8 nm增大到6.5 nm,光学带隙由3.26 eV增大到3.31 eV。 |
| 关 键 词： | Mg掺杂ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 微结构 光学性质 |
Microstructue and Optical Properties of Mg-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-gel Method |
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| HUANG Kai,LV Jian-guo,LIU Xian-song,TANG Zhen.Microstructue and Optical Properties of Mg-doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-gel Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2010,39(5). | |
| Authors: | HUANG Kai LV Jian-guo LIU Xian-song TANG Zhen |
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