| ZnO/SnO2复合透明导电膜性能的研究 |
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| 引用本文： | 高哲,卢景霄,陈庆东,刘玉芬,王子健,陈永生.ZnO/SnO2复合透明导电膜性能的研究[J].人工晶体学报,2008,37(2):417-421. |
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| 作者姓名： | 高哲 卢景霄 陈庆东 刘玉芬 王子健 陈永生 |
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| 作者单位： | 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射工艺在SnO:透明导电玻璃上沉积一层ZnO膜,制备出ZnO/SnO2复合透明导电膜,作为硅薄膜太阳电池前电极.比较了具有不同ZnO厚度的复合膜氢轰击前后的光电性能,发现适当控制ZnO膜的厚度至关重要.研究了快速热退火(RTA)对薄膜的结构及光电性能的影响,发现400℃退火能够改善薄膜的光学性能.
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| 关 键 词： | ZnO/SnO2复合膜 快速热退火(RTA) 氢轰击 透过率 |
| 文章编号： | 1000-985X(2008)02-0417-05 |
| 修稿时间： | 2007年5月16日 |
Study on Property of ZnO / SnO2 Transparent Conductive Films |
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| GAO Zhe,LU Jing-xiao,CHEN Qing-dong,LIU Yu-fen,WANG Zi-jian,CHEN Yong-sheng.Study on Property of ZnO / SnO2 Transparent Conductive Films[J].Journal of Synthetic Crystals,2008,37(2):417-421. |
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| Authors: | GAO Zhe LU Jing-xiao CHEN Qing-dong LIU Yu-fen WANG Zi-jian CHEN Yong-sheng |
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