| 蓝宝石衬底材料的研究及应用进展 |
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| 引用本文： | 考政晓,叶大千,于璇,张保国.蓝宝石衬底材料的研究及应用进展[J].人工晶体学报,2018,47(1):102-107. |
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| 作者姓名： | 考政晓 叶大千 于璇 张保国 |
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| 作者单位： | 河北工业大学电子信息工程学院,天津300401;天津市电子材料与器件重点实验室,天津300401;三安光电股份有限公司,天津,300130 |
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| 基金项目： | 河北省高层次人才资助项目百人计划项目(E2013100006);河北省科技计划资助项目(15211017D) |
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| 摘 要： | 蓝宝石因为其生产技术成熟、稳定性好、性价比高而被广泛应用于光电领域,成为GaN基光电器件的主要衬底材料.传统的蓝宝石衬底生长GaN薄膜存在许多问题,如由晶格常数不同产生的晶格失配、热应力失配等,且GaN薄膜结晶质量较差、光线提取效率低.介绍了图形化蓝宝石衬底技术在制作GaN基LED器件中的应用,比较了几种图形化衬底对LED的发光性能的影响.在图形化蓝宝石衬底上采用PVD法生长AlN薄膜,可以降低GaN薄膜的螺旋位错和刃位错、提高MOCVD生长效率、显著提高设备利用率.另外,介绍了蓝宝石衬底在SOS领域的应用,列出了SOS工艺对蓝宝石衬底的具体要求.蓝宝石作为一种重要的衬底材料,未来的发展前景会更加广阔.
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| 关 键 词： | 图形化蓝宝石衬底 PVD法生长AlN SOS |
Research and Application Progress of Sapphire Substrates |
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| KAO Zheng-xiao,YE Da-qian,YU Xuan,ZHANG Bao-guo.Research and Application Progress of Sapphire Substrates[J].Journal of Synthetic Crystals,2018,47(1):102-107. |
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| Authors: | KAO Zheng-xiao YE Da-qian YU Xuan ZHANG Bao-guo |
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