| 板片状Al2O3磨料对碲锌镉晶体机械研磨的影响 |
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| 引用本文： | 毛晓辰,朱丽慧,虞慧娴,周昌鹤,孙士文,陈燕.板片状Al2O3磨料对碲锌镉晶体机械研磨的影响[J].人工晶体学报,2018,47(2):261-266. |
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| 作者姓名： | 毛晓辰 朱丽慧 虞慧娴 周昌鹤 孙士文 陈燕 |
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| 作者单位： | 上海大学材料科学与工程学院,上海,200072;中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;中国铝业郑州有色金属研究院有限公司,郑州,450041 |
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| 基金项目： | 红外成像与器件重点实验室开放基金 |
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| 摘 要： | 采用具有不同形状特征的Al2O3磨料对CdZnTe晶片进行机械研磨,研究了磨粒形状、粒径对晶片的去除速率、研磨后晶片表面形貌的影响,并讨论了其影响机理.研究表明,多角形不规则磨粒易在晶片表面产生划痕,且易在磨盘与晶片之间发生滚动,导致去除速率下降.板片状磨粒因不易发生滚动,易形成二体磨粒以边缘凿削晶片表面的方式去除.棱角度较高的薄板片状磨粒有利于CZT晶片的机械研磨,且去除速率随粒径增大而增大,但当粒径较大时易形成深凹坑.表面圆润平滑的厚板片状磨粒对去除速率不利.粒径(D50)为3.34 μm的薄板片状磨料既能得到较高的去除速率,也能保证研磨后晶片表面波纹度Wa值和凹坑面积占比较低,晶片表面质量好.
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| 关 键 词： | CdZnTe晶体 机械研磨 板片状Al2O3磨料 去除机理 |
Effect of Plate-like Al2O3Abrasives on Mechanical Lapping of CdZnTe Crystals |
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| MAO Xiao-chen,ZHU Li-hui,YU Hui-xian,ZHOU Chang-he,SUN Shi-wen,CHEN Yan.Effect of Plate-like Al2O3Abrasives on Mechanical Lapping of CdZnTe Crystals[J].Journal of Synthetic Crystals,2018,47(2):261-266. |
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| Authors: | MAO Xiao-chen ZHU Li-hui YU Hui-xian ZHOU Chang-he SUN Shi-wen CHEN Yan |
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