| (111)择优取向ZnS薄膜的制备及特性研究 |
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| 引用本文： | 朱延技,张栋,王长征,黄兆聪.(111)择优取向ZnS薄膜的制备及特性研究[J].人工晶体学报,2018,47(8):1573-1576. |
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| 作者姓名： | 朱延技 张栋 王长征 黄兆聪 |
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| 作者单位： | 东南大学物理学院,南京,211100;东南大学物理学院,南京 211100;聊城大学物理科学和信息工程学院,聊城 252059;聊城大学材料科学与工程学院,聊城,252059 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11504047);山东省高等学校科技计划项目(J16LJ05) |
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| 摘 要： | 采用激光分子束外延技术在Al2O3衬底上成功外延生长了ZnS薄膜.用X射线衍射、扫描电子显微镜和光致发光谱表征了衬底温度对薄膜结构、形貌和光学特性的影响.结果表明所生长的ZnS薄膜为闪锌矿,具有(111)择优长向,随衬底温度的升高,X射线衍射峰的半高宽先减小后增大,在衬底温度为300℃时,半高宽最窄.薄膜结构致密,表面不平整度随衬底温度的升高而增大.薄膜的带隙随衬底温度的升高出现蓝移,可见光区域透射率最高达到98;,在360 nm激发波长下,观测到402 nm和468 nm两个发光带,衬底温度为300℃时,发光最强.
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| 关 键 词： | ZnS薄膜 择优取向 光学性质 |
Preparation and Characteristics of ZnS Thin Films with (111) Preferred Orientation |
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| ZHU Yan-ji,ZHANG Dong,WANG Chang-zheng,HUANG Zhao-cong.Preparation and Characteristics of ZnS Thin Films with (111) Preferred Orientation[J].Journal of Synthetic Crystals,2018,47(8):1573-1576. |
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| Authors: | ZHU Yan-ji ZHANG Dong WANG Chang-zheng HUANG Zhao-cong |
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