| 双坩埚三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉设计 |
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| 引用本文： | 巩潇,倪屹,司继良,李留臣.双坩埚三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉设计[J].人工晶体学报,2015,44(2):563-566. |
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| 作者姓名： | 巩潇 倪屹 司继良 李留臣 |
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| 作者单位： | 江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室,无锡,214122;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,金坛,213200 |
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| 基金项目： | 教育部新世纪优秀人才计划(NCET-111-0659);江苏省产学研联合创新资金-前瞻性联合研究项目(BY2014023-11) |
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| 摘 要： | 在已有的三维温度梯度法(3DGF)蓝宝石晶体生长炉基础上,设计了一种双坩埚蓝宝石晶体生长炉.设计的三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉主要针对蓝宝石手机面板市场,将坩埚设计成长方体型,增加了材料利用率,并简化了晶体切割工艺.采用双坩埚技术,可进一步提高晶体的生产效率,节约能耗,降低成本.本设计的双坩埚3DGF蓝宝石晶体生长炉可单炉获得2个300 mm×100 mm× 100 mm的蓝宝石晶体.
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| 关 键 词： | 蓝宝石 晶体生长炉 三维立体温度梯度法 双坩埚 |
Design of Double Crucible 3DGF Sapphire Crystal Growth Furnace |
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| GONG Xiao;NI Yi;SI Ji-liang;LI Liu-chen.Design of Double Crucible 3DGF Sapphire Crystal Growth Furnace[J].Journal of Synthetic Crystals,2015,44(2):563-566. |
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| Authors: | GONG Xiao;NI Yi;SI Ji-liang;LI Liu-chen |
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| Institution: | GONG Xiao;NI Yi;SI Ji-liang;LI Liu-chen;Key Laboratory of Advanced Process Control for Light Industry ( Ministry of Education) ,Jiangnan University;Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences;Jiangsu Huasheng Tianlong Photoelectric Co. ,Ltd.; |
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| Abstract: | |
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