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| 福建物构所“355nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发”专题通过验收 | |
| 作者单位： | 中国科学院福建物质结构研究所; |
| 摘 要： | <正>2月18日,中国科学院福建物质结构研究所研究员林文雄承担的省科技重大专项专题"355 nm紫外全固态激光精密切割专用设备研发"通过福建省科技厅组织的专题验收。该专题面向福建省半导体照明产业发展需求,研发全固态激光精密切割专用设备,取得以下主要成果:(1)采用创新性的生长工艺,实现新型紫外变频晶体材料和大尺寸原生三段式Nd∶YVO4激光晶体生长;(2)突破饲服电机、线性导轨、高精度光栅尺等系统集成技术,并配合闭环负反馈移动控制系统,实现高精度精密平移台运动控制;(3)突破888 nm新型半导体泵浦技术、大斜面倍频晶体以及倍频晶体移点等关键核心技 |
| 关 键 词： | 激光精密切割 专用设备 全固态 中国科学院 物质结构 倍频晶体 主要成果 紫外 福建省 晶体生长 |
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