西安光机所发明“单晶硅炉水垢的清洗方法”

目前,对单晶硅炉等精密机械的水垢清洗均采用单一的清洗液来进行,但由于上述机械结构较为复杂且包含了多种不同材质的零件,这样造成采用单一的清洗液洗时无法彻底清除水垢,也可能导致部分材质被腐蚀。无法彻底清除水垢会增加上述机械的实用成本,而腐蚀部分材质时可能产生巨大的安全隐患。