非水解溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜及抗碱腐蚀性能

以正丙醇锆和正硅酸乙酯分别为锆源和硅源,结合非水解溶胶-凝胶法和提拉镀膜工艺制备出硅酸锆(ZrSiO_4)薄膜。采用XRD、FTIR、SEM、AFM等分析测试手段研究了前驱体浓度、提拉速度对ZrSiO_4合成、ZrSiO_4薄膜形貌及显微结构的影响,并研究薄膜的抗碱液腐蚀性能。结果表明:当前驱体浓度为0.1 mol/L、提拉速度为1mm/s时可以在单晶硅片获得表面光滑、平整致密、无开裂的ZrSiO_4薄膜。镀有ZrSiO_4薄膜的单晶硅片在浓度为40%NaOH溶液中40℃条件下浸泡42 h,表面只发现有较小的坑蚀,且质量随腐蚀时间延长变化很小,质量损失仅为0.17%,表明该ZrSiO_4薄膜具有较好的抗碱液腐蚀性能。