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氨气浓度对碳纳米管生长影响的研究
引用本文:王必本,张兵,郑坤,郝伟,王国菊,王波,朱满康,严辉.氨气浓度对碳纳米管生长影响的研究[J].人工晶体学报,2004,33(1):100-104.
作者姓名:王必本  张兵  郑坤  郝伟  王国菊  王波  朱满康  严辉
作者单位:北京工业大学应用数理学院,北京,100022;北京工业大学量子材料实验室,北京,100022
摘    要:利用等离子体增强化学气相沉积系统,用CH4、NH3和H2为反应气体,在沉积有100nm厚Ta过渡层和60nm厚NiFe催化剂层的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构.结果表明当氨气浓度为20;、40;和60;时,碳纳米管的平均长度分别为3.88μm、4.52μm和6.79μm,而其平均直径变化不大,均在240nm左右.最后,分析讨论了氨气浓度对碳纳米管生长和结构的影响.

关 键 词:碳纳米管  氨气浓度  生长速率  
文章编号:1000-985X(2004)01-0100-05

Study on Influences of Ammonia Concentration on Growth of Carbon Nanotubes
WANG Bi-ben,ZHANG Bing,ZHENG Kun,HAO Wei,WANG Guo-ju,WANG Bo,ZHU Man-kang,YAN Hui.Study on Influences of Ammonia Concentration on Growth of Carbon Nanotubes[J].Journal of Synthetic Crystals,2004,33(1):100-104.
Authors:WANG Bi-ben  ZHANG Bing  ZHENG Kun  HAO Wei  WANG Guo-ju  WANG Bo  ZHU Man-kang  YAN Hui
Institution:WANG Bi-ben~1,ZHANG Bing~1,ZHENG Kun~1,HAO Wei~1,WANG Guo-ju~2,WANG Bo~2,ZHU Man-kang~2,YAN Hui~2
Abstract:
Keywords:carbon nanotubes  ammonia concentration  growth rate
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