| 溶胶-凝胶法Ba2TiSi2O8铁电薄膜的制备及结构表征 |
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| 引用本文： | 朱满康,代伍坤,侯育冬,严辉,邵明明,陈晓阳.溶胶-凝胶法Ba2TiSi2O8铁电薄膜的制备及结构表征[J].人工晶体学报,2005,34(2):283-287. |
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| 作者姓名： | 朱满康 代伍坤 侯育冬 严辉 邵明明 陈晓阳 |
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| 作者单位： | 北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京,100022;北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京,100022;北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京,100022;北京工业大学教育部新型功能材料重点实验室,北京,100022 |
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| 基金项目： | 北京市教育委员会科技发展计划项目;国家自然科学基金(No.10104004)资助项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶工艺在Si(100)衬底上制备了Ba2 TiSi2O8(BTS)薄膜.通过XRD衍射、傅立叶红外(FT-IR)、拉曼(Raman)散射光谱和原子力显微镜(AFM)对薄膜的显微结构进行了表征.AFM分析显示,BTS薄膜表面光滑,晶粒尺寸在0.30～0.50μm.薄膜结构分析表明:随着退火温度的增加,BTS薄膜的结晶度增加,薄膜结构变得更加致密.同时,随着退火温度的升高,晶胞尺寸出现了收缩,导致了BTS薄膜的四方比c/a从0.613上升到0.618,将对薄膜的压电性能产生影响.
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 Ba2TiSi2O8 钡钛硅石 溶胶-凝胶法 |
| 文章编号： | 1000-985X(2005)02-0283-05 |
| 修稿时间： | 2004年6月17日 |
Preparation and Characterization of Ba2TiSi2O8 Ferroelectric Films Produced by Sol-gel Method |
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| ZHU Man-kang,DAI Wu-kun,HOU Yu-dong,YAN Hui,SHAO Ming-ming,CHEN Xiao-yang.Preparation and Characterization of Ba2TiSi2O8 Ferroelectric Films Produced by Sol-gel Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2005,34(2):283-287. |
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| Authors: | ZHU Man-kang DAI Wu-kun HOU Yu-dong YAN Hui SHAO Ming-ming CHEN Xiao-yang |
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| Institution: | ZHU Man-kang~1,DAI Wu-kun~1,HOU Yu-dong~1,YAN Hui~1,SHAO Ming-ming~2,CHEN Xiao-yang~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ferroelectric film Ba_2TiSi_2O_8 fresnoite sol-gel method |
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