| 用镀有钛过渡层的钼衬底制备无裂纹自支撑金刚石膜 |
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| 引用本文： | 李浩,李成明,吕反修,唐伟忠,陈广超,鲍学进,刘政.用镀有钛过渡层的钼衬底制备无裂纹自支撑金刚石膜[J].人工晶体学报,2006,35(1):164-169. |
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| 作者姓名： | 李浩 李成明 吕反修 唐伟忠 陈广超 鲍学进 刘政 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.50471090) |
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| 摘 要： | 为了解决金刚石膜脱膜开裂的问题,尝试了一种复合衬底,即镀有钛过渡层的钼衬底。利用直流等离子体喷射法在复合衬底上制备了不同厚度无裂纹的自支撑金刚石膜。用扫描电镜(SEM)、拉曼谱和X射线衍射表征金刚石膜的特征,并检测了其断裂强度。结果表明,用复合衬底制备的金刚石膜在950℃具有最小半高宽,在实验温度下所获得的金刚石自支撑膜的断裂强度均超过了500MPa。
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| 关 键 词： | 金刚石膜 复合衬底 钛过渡层 直流等离子体喷射法 自支撑金刚石膜 |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）01-0164-06 |
| 收稿时间： | 2005-09-16 |
| 修稿时间： | 2005-09-16 |
Deposition of Crack-free Freestanding Diamond Films on Mo Substrates with Ti Interlayer |
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| LI Hao,LI Cheng-ming,LU Fan-xiu,TANG Wei-zhong,CHEN Guang-chao,BAO Xue-jin,LIU Zheng.Deposition of Crack-free Freestanding Diamond Films on Mo Substrates with Ti Interlayer[J].Journal of Synthetic Crystals,2006,35(1):164-169. |
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| Authors: | LI Hao LI Cheng-ming LU Fan-xiu TANG Wei-zhong CHEN Guang-chao BAO Xue-jin LIU Zheng |
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| Institution: | School of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of Beijing, Beijing 100083, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond film composite substrate Ti interlayer DC arc plasma jet freestanding diamond films |
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