| 硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响 |
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| 引用本文： | 王传新,汪建华,满卫东,马志斌,王升高,傅朝坤,李克林,康志成.硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响[J].人工晶体学报,2004,33(6):1048-1051. |
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| 作者姓名： | 王传新 汪建华 满卫东 马志斌 王升高 傅朝坤 李克林 康志成 |
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| 作者单位： | 武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073;中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031;武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073;自贡硬质合金有限公司,自贡,643011;中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031 |
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| 基金项目： | 湖北省科技攻关计划 (No .2 0 0 2AA1 0 5A0 2 )资助项目 |
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| 摘 要： | 以WC-6;Co为基体,采用磁控溅射法,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层,然后碳化过渡层为TiC.在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜.研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响.结果表明,在700℃左右的低温碳化,TiC结构致密,而在850℃左右的高温碳化,TiC呈疏松的多孔组织,在CH4-Ar等离子体中碳化则850℃左右仍能获得致密的TiC层.在致密的过渡层上沉积的金刚石薄膜具有更高的附着力.
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| 关 键 词： | 硬质合金 HFCVD 金刚石薄膜 Ti过渡层 |
| 文章编号： | 1000-985X(2004)06-1048-04 |
Effect of the Carbonization Conditions on the Adhesion of Diamond Film on Cemented Carbide |
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| WANG Chuan-xin.Effect of the Carbonization Conditions on the Adhesion of Diamond Film on Cemented Carbide[J].Journal of Synthetic Crystals,2004,33(6):1048-1051. |
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| Authors: | WANG Chuan-xin |
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| Institution: | WANG Chuan-xin~ |
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| Keywords: | cemented carbide HFCVD diamond film Ti interlayer |
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