| Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论 |
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| 引用本文： | 赵亚,王立森,等.Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论[J].力学进展,2000,30(4):529-537. |
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| 作者姓名： | 赵亚 王立森 |
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| 作者单位： | 中科院力学所LNM |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973)项目------集成微光机电系统研究(课题编号:
G1999033103)、国家杰出青年基金B类------微电子机械系统的微尺度力学检测和计算机辅助设计(批准号:
19928205)和香港科技大学种子经费共同资助项目 |
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| 摘 要： | 微电子机械系统（ＭＥＭＳ）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象 中占主导地位的研究领域．本文重点介绍在ＭＥＭＳ中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论． 通过对两个无量纲数——Ｔａｂｏｒ数μ（以及其相应形式）和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘 着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中 的表面效应愈加明显．
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| 关 键 词： | MEMS 尺度效应 表面效应 微尺度粘着接触 Tabor数 粘着数 晶片键合 |
| 修稿时间： | 2000年1月5日 |
TABOR NUMBER, ADHESION
PARAMETER AND ELASTIC THEORY OF MICROSCALE ADHESIVE CONTACT |
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| Zhao Yapu Wang Lisen Sun Kehao.TABOR NUMBER, ADHESION
PARAMETER AND ELASTIC THEORY OF MICROSCALE ADHESIVE CONTACT[J].Advances in Mechanics,2000,30(4):529-537. |
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| Authors: | Zhao Yapu Wang Lisen Sun Kehao |
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| Abstract: | The rapid development of micro-electro-mechanical systems (MEMS) and some other related fields allows us to venture into a research area in which the surface effects dominate most of the phenomena. This paper introduces the microscale elastic theory of adhesive contact, which is often encountered in MEMS fabrication. By analyzing two dimensionless parameters, Tabor number and adhesion parameter, and their influence on adhesive forces, we point out the scale effect that is implicit in the existing adhesive elastic contact theory and the surface effect in the adhesive elastic contact becomes more and more importat with the decrease of the characteristic scale. |
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| Keywords: | MEMS scale effect surface effect microscale adhesive contact Tabor number adhesion parameter wafer bondint |
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