| 微电子机械系统（MEMS）面内位移的扫描离子束云纹法实验研究 |
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| 引用本文： | 谢惠民,戴福隆,尚海霞,李标.微电子机械系统（MEMS）面内位移的扫描离子束云纹法实验研究[J].实验力学,2003,18(1):12-16. |
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| 作者姓名： | 谢惠民 戴福隆 尚海霞 李标 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,工程力学系,北京,100084
2. 教育部破坏力学重点实验室客座研究人员,北京,100084 |
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| 摘 要： | 本文提出应用扫描离子束云纹法测量微电子机械系统面内变形的新方法。对该方法的测量原理以及实验技术进行详尽地阐述，通过平行云纹典型实验对本方法的测量精度进行了检验。成功地将扫描离子束云纹法应用于微悬臂梁表面氧化层随时间生长所引起的变形测量，实验结果表明了该方法的可行性。
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| 关 键 词： | 扫描离子束云纹法 高频光栅 应变 微电子机械系统 面内变形 |
| 文章编号： | 1001-4888(2003)01-0012-05 |
| 修稿时间： | 2002年7月8日 |
A Study on the In-Plane Deformation of MEMS by using Scanning FIB Moiré Method |
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