| 光学读出室温物体红外成像 |
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| 引用本文： | 郭哲颖,张青川,陈大鹏,伍小平,董凤良,缪正宇,熊志铭,李超波.光学读出室温物体红外成像[J].实验力学,2005,20(2):213-218. |
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| 作者姓名： | 郭哲颖 张青川 陈大鹏 伍小平 董凤良 缪正宇 熊志铭 李超波 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027
2. 中科院微电子研究所,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学重点基金(10232030)和面上基金(50076040和10472111)资助项目 |
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| 摘 要： | 光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形。本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm)。用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像。该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K。
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| 关 键 词： | 微悬臂梁 非制冷 红外成像 光学读出 |
| 文章编号： | 1001-4888(2005)02-0213-06 |
| 修稿时间： | 2005年6月2日 |
Optical-Readout Room-temperature Infrared Imaging |
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| GUO Zhe-Ying,ZHANG Qing-Chuan,CHEN Da-peng,WU Xiao-Ping,DONG Feng-liang,MIAO Zhen-Yu,Xiong Zhi-Ming,Li Chao-Bo.Optical-Readout Room-temperature Infrared Imaging[J].Journal of Experimental Mechanics,2005,20(2):213-218. |
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| Authors: | GUO Zhe-Ying ZHANG Qing-Chuan CHEN Da-peng WU Xiao-Ping DONG Feng-liang MIAO Zhen-Yu Xiong Zhi-Ming Li Chao-Bo |
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| Institution: | GUO Zhe-Ying~,ZHANG Qing-Chuan~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro cantilever uncooled infrared Imaging optical readout |
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