纳米压痕仪接触投影面积标定方法的研究

基于Oliver与Pharr方法的纳米压痕实验以其简单方便获得广泛的应用，但众多因素对压 痕实验结果的影响范围并无明确的结论. 其中压痕接触面积的确定是一个重要环节，该因素 对实验结果，特别是小深度下的实验结果具有重要影响. 仔细分析了Oliver与Pharr 方法并进行了几种材料的纳米压痕实验，针对该方法在接触深度确定、不同深度范围下方法 的适用性进行了说明. 分析结果表明，对所有的材料使用统一的面积公式，只有在大压痕深 度时才是适用的，而在小压痕深度时可能带来较大的误差. 因此，应慎重使用由Oliver与 Pharr方法得到的小压痕深度的硬度数据.

Comments on the calibration technique of the projected contact area of nanoindentation tester

The nanoindentation test techniques especially the O&P method are analyzed and the nanoindentation tests are implemented. The analysis focuses on the determination of the contact area and the depth region of the application. Analysis results show that a common area formula for all materials justifies only at large indentation depth, and such a universal formula may lead to larger errors at small depth. Hence hardness values measured at small indentation depth based on O&P method must be used with care.