| GeSb2Te4薄膜表面分形维数计算及表征 |
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| 引用本文： | 朱守星,朱世根,范真,丁建宁.GeSb2Te4薄膜表面分形维数计算及表征[J].摩擦学学报,2005,25(2):149-153. |
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| 作者姓名： | 朱守星 朱世根 范真 丁建宁 |
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| 作者单位： | 1. 东华大学,机械工程学院,上海,200051
2. 江苏大学,微纳米技术中心,江苏,镇江,212013 |
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| 摘 要： | 采用低功率直流磁控溅射法制备了GeSb2Te4薄膜,利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的微观结构和相组成,研究了薄膜表面的分形特征.结果表明:沉积态GeSb2Te4薄膜为无规则、无择优取向的非晶材料;薄膜表面形貌AFM图像具有分形特征,基于自行编制的采用盒计数法求解随机分形维数的C语言程序,计算得到沉积态GeSb2Te4薄膜的分形维数为1.93;针对一维和二维随机分形多重分形谱的计算表明,沉积态GeSb2Te4薄膜满足分形的标度不变性;通过对沉积态和退火态薄膜进行多维分形谱计算,发现经过230 ℃退火处理的薄膜样品的多维分形谱较窄且晶化分布均匀.
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| 关 键 词： | 薄膜 分形维数 多维分形谱 |
| 文章编号： | 1004-0595(2005)02-0149-05 |
| 修稿时间： | 2004年7月27日 |
Fractal Dimension Calculation and Fractal Characterization of GeSb2Te4 Film |
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| ZHU Shou-xing,ZHU Shi-gen,FAN Zhen,DING Jian-ning.Fractal Dimension Calculation and Fractal Characterization of GeSb2Te4 Film[J].Tribology,2005,25(2):149-153. |
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| Authors: | ZHU Shou-xing ZHU Shi-gen FAN Zhen DING Jian-ning |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GeSb2Te4 |
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