| 磁过滤阴极弧制备类金刚石膜的疲劳性能及摩擦磨损性能研究 |
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| 引用本文： | 王慧,张晨辉,路新春,雒建斌.磁过滤阴极弧制备类金刚石膜的疲劳性能及摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报,2007,27(4):297-302. |
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| 作者姓名： | 王慧 张晨辉 路新春 雒建斌 |
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| 作者单位： | 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，Electro-Mechanic Technology Advancing Foundation of NSK Ltd. of Japan |
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| 摘 要： | 利用离面双弯曲磁过滤阴极真空弧沉积系统,在单晶硅片上制备类金刚石薄膜.采用原子力显微镜观察薄膜表面形貌,采用激光拉曼光谱仪对薄膜的结构进行分析,采用多功能纳米力学性能测试仪测定薄膜的硬度、弹性模量及耐疲劳性能,采用微摩擦磨损试验机考察薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的类金刚石薄膜表面光滑致密,硬度较高;镀膜参数中基体脉冲偏压占空比对薄膜的结构与性能有一定影响.
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| 关 键 词： | 类金刚石碳薄膜 疲劳性能 摩擦磨损性能 |
| 文章编号： | 1004-0595（2007）04-0297-06 |
| 修稿时间： | 2006-08-292006-11-25 |
Fatigue and Frictional Behavior of Diamond-like Carbon Films Deposited by Filtered Cathodic Vacuum Arc Technique |
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| WANG Hui,ZHANG Chen-hui,LU Xin-chun,LUO Jian-bin.Fatigue and Frictional Behavior of Diamond-like Carbon Films Deposited by Filtered Cathodic Vacuum Arc Technique[J].Tribology,2007,27(4):297-302. |
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| Authors: | WANG Hui ZHANG Chen-hui LU Xin-chun LUO Jian-bin |
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| Institution: | State Key Laboratory of Tribology, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | FCVA |
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