| 不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能 |
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| 引用本文： | 贺腾飞,吴有智,许佼,慕波,柴利强,张晓琴,王鹏.不同调制周期MoS2/DLC多层薄膜结构及摩擦学性能[J].摩擦学学报,2017,37(1):35-43. |
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| 作者姓名： | 贺腾飞 吴有智 许佼 慕波 柴利强 张晓琴 王鹏 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（51227804和91023041）资助. |
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| 摘 要： | 采用多靶射频磁控溅射方法,在Si(100)衬底上制备不同调制周期(Λ分别为54 nm、30 nm、18 nm)MoS_2/类金刚石(DLC)多层薄膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、透射电子显微镜、纳米压痕仪研究多层膜的形貌、微观结构及力学性能受调制周期的影响规律;利用球-盘摩擦试验机考察薄膜在大气环境下的润滑性能.结果表明:采用交替沉积MoS_2/DLC多层膜可有效抑制溅射MoS_2中柱状结构生长,制备的薄膜结构致密;多层膜硬度随调制周期的增加而增大.透射断面分析表明:多层膜层间界面不平整但周期性结构清晰且致密,其调制周期厚度与试验设定值基本一致.与纯MoS_2薄膜相比,调制周期为54 nm的薄膜具有较好的法向承载及弹性恢复能力,其硬度最高,达7.15 GPa;法向载荷为5 N时,该薄膜在大气环境(相对湿度约30%)下具有最低的摩擦系数(0.09)和最低的磨损率1.34×10~(–7) mm~3/(N·m)].
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| 关 键 词： | 薄膜 MoS2/DLC多层薄膜 不同调制周期 微观结构 力学性能 摩擦学性能 |
| 收稿时间： | 2016/8/27 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2016/8/31 0:00:00 |
Structure and Tribological Properties of MoS2/DLC Multilayer Films with Different Modulation Periods |
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| HE Tengfei,WU Youzhi,XU Jiao,MU Bo,CHAI Liqiang,ZHANG Xiaoqin and WANG Peng.Structure and Tribological Properties of MoS2/DLC Multilayer Films with Different Modulation Periods[J].Tribology,2017,37(1):35-43. |
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| Authors: | HE Tengfei WU Youzhi XU Jiao MU Bo CHAI Liqiang ZHANG Xiaoqin and WANG Peng |
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| Keywords: | MoS2/DLC multilayer film different modulation periods microstructure mechanical properties tribological properties frction property |
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