| Mo硫化物/Ti复合薄膜的制备及其环境摩擦磨损性能研究 |
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| 引用本文： | 彭仕敏,杨友志,郑晓华,顾斌,涂江平.Mo硫化物/Ti复合薄膜的制备及其环境摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报,2007,27(6):509-514. |
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| 作者姓名： | 彭仕敏 杨友志 郑晓华 顾斌 涂江平 |
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| 作者单位： | 浙江大学,材料科学与工程系,浙江,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，教育部高等学校博士学科点专项科研基金 |
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| 摘 要： | 采用高温硫化处理磁控溅射Mo/Ti金属前驱体薄膜制备Mo硫化物/Ti复合薄膜,采用X射线衍射仪、能谱仪和扫描电子显微镜对复合薄膜的组织结构、化学成分和表面形貌进行分析,采用涂层附着力自动划痕仪和可控气氛球-盘式摩擦磨损试验仪分别测试薄膜与基体的结合力以及摩擦系数,并用扫描电子显微镜观察薄膜的磨损表面形貌,分析其磨损机制.结果表明:硫化温度在450 ℃以上时能够生成较多Mo硫化物,最佳硫化工艺为450 ℃×15 h;提高硫化温度或延长硫化时间均使薄膜的结合力下降;磁控溅射Mo/Ti前驱体复合薄膜经450 ℃×15 h硫化处理后,薄膜中生成复杂的Mo硫化物,形成Mo硫化物/Ti复合薄膜;与纯Mo薄膜硫化后相比,Mo硫化物/Ti复合薄膜具有更高的界面结合力和更优异的摩擦磨损性能.
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| 关 键 词： | Mo/Ti前驱体 硫化 Mo硫化物/Ti复合薄膜 摩擦磨损性能 |
| 文章编号： | 1004-0595（2007）06-0509-06 |
| 收稿时间： | 2007-05-28 |
| 修稿时间： | 2007-07-15 |
Preparation and Tribological Properties of Mo Sulfide/Ti Composite Films in Different Environments |
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| PENG Shi-min,YANG You-zhi,Zheng Xiao-hu,GU Bin,TU Jiang-ping.Preparation and Tribological Properties of Mo Sulfide/Ti Composite Films in Different Environments[J].Tribology,2007,27(6):509-514. |
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| Authors: | PENG Shi-min YANG You-zhi Zheng Xiao-hu GU Bin TU Jiang-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | precursor Mo/Ti films sulfurizing Mo sulfide/Ti composite films friction and wear properties |
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