| 磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究 |
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| 引用本文： | 沟引宁,孙鸿,黄楠,张文英,冷永祥.磁过滤真空弧源沉积技术制备C/C多层类金刚石膜及其摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报,2006,26(2):121-124. |
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| 作者姓名： | 沟引宁 孙鸿 黄楠 张文英 冷永祥 |
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| 作者单位： | 西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官表面工程重点实验室,四川,成都,610031 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目，四川省科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Si基体和GCr15基体表面制备了C/C多层DLC膜,通过X射线光电子能谱仪分析薄膜结构特征;用原子力显微镜观察C/C多层DLC膜的表面形貌;采用台阶仪测试薄膜厚度;利用纳米硬度仪测试薄膜纳米硬度;在销盘式摩擦磨损试验机上进行C/C多层DLC膜在大气下的摩擦性能评价,同时比较了单层DLC膜、TiN膜和C/C多层DLC膜的耐磨性能.结果表明:C/C多层DLC膜表面光滑、致密,厚度达0.7 μm,硬度高达68 GPa,与SiC球对摩时的摩擦系数为0.10左右,耐磨性明显优于单层DLC膜和TiN膜.
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| 关 键 词： | 磁过滤阴极真空弧源 C/C多层DLC膜 摩擦磨损性能 |
| 文章编号： | 1004-0595（2006）02-0121-04 |
| 收稿时间： | 2005-03-05 |
| 修稿时间： | 2005-06-31 |
Fabrication and Tribological Characterization of Multilayer C/C Films Prepared by Filtered Cathodic Vacuum Arc Technology |
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| GOU Yin-ning,SUN Hong,HUANG Nan,ZHANG Wen-ying,LENG Yong-xiang.Fabrication and Tribological Characterization of Multilayer C/C Films Prepared by Filtered Cathodic Vacuum Arc Technology[J].Tribology,2006,26(2):121-124. |
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| Authors: | GOU Yin-ning SUN Hong HUANG Nan ZHANG Wen-ying LENG Yong-xiang |
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| Institution: | Sichuan Key laboratory of Surface Engineering of Artificial Organs, Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | filtered cathodic vacuum arc(FCVA) C/C multilayer films friction and wear behavior |
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