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| 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究 | |
| 引用本文： | 马胜利,马大衍,王昕,徐可为,介万奇.脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究[J].摩擦学学报,2003,23(3):179-182. |
| 作者姓名： | 马胜利 马大衍 王昕 徐可为 介万奇 |
| 作者单位： | 1. 西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072;西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049 2. 西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049 3. 西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072 |
| 基金项目： | :国家863计划资助项目(2001AA883010)，国家自然科学基金资助项目(50271053). |
| 摘 要： | 对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性，用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力，考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素．结果表明，TiCN薄膜具有较高硬度、良好的膜基结合力，相对于TiN薄膜而言表现出更低的摩擦系数和更好的耐磨性能．在实际使用中应注重成分和结构优化设计，以保证薄膜具有良优良的减摩性能． |
| 关 键 词： | 硬质薄膜 PCVD 结合力 摩擦磨损性能 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积 TiN薄膜 TiCN薄膜 |
| 文章编号： | 1004-0595(2003)03-0179-04 |
| 修稿时间： | 2002年8月12日 |
Tribological Characteristics of TiN and TiCN Hard Coatings Prepared by Pulsed D.C. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition |
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| Abstract: | |
| Keywords: | hard-coatings plasma enhanced chemical vapour deposition interfacial bonding strength tribological characteristic |
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