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氮化钛沉积膜的摩擦性能研究
引用本文:张泰华,郇勇,杨业敏,王秀兰.氮化钛沉积膜的摩擦性能研究[J].摩擦学学报,2003,23(5):367-370.
作者姓名:张泰华  郇勇  杨业敏  王秀兰
作者单位:1. 中国科学院力学研究所,非线性力学国家重点实验室,北京,100080
2. 航天材料及工艺研究所,北京,100076
基金项目:国家自然科学基金资助项目(10242001,10172086),中国科学院知识创新工程资助项目(KJCX2-SW-L2,KGCX1-11).
摘    要:采用等离子电弧沉积法在9Crl8钢表面制备了厚约0.5μm的TiN薄膜,通过显微硬度测试以及纳米压痕和纳米划痕试验,对比考察了9Crl8钢及其表面T|N薄膜的机械和摩擦性能.结果表明,9Crl8钢及其表面T.N沉积膜的纳米硬度分别为8GPa和38GPa,弹性模量分别为250GPa和580GPa,9Crl8、TiN和有机薄膜的摩擦系数分别为0.40、0.12和0.10;TiN沉积膜可显著提高基体钢的承载和耐磨能力.

关 键 词:氮化钛薄膜  显微硬度  纳米压痕  纳米划痕  摩擦性能
文章编号:1004-0595(2003)05-0367-04
修稿时间:2002年11月23

Tribological Behavior of Plasma-Arc-Deposited TiN Coating on a Stainless Steel
Abstract:
Keywords:TiN coatings  microhardness  nanoindentation  nanoscratch  tribological behavior
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