| 低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究 |
| |
| 引用本文： | 高晓明,孙嘉奕,胡明,翁立军,刘维民.低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究[J].摩擦学学报,2007,27(4):308-312. |
| |
| 作者姓名： | 高晓明 孙嘉奕 胡明 翁立军 刘维民 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;中国科学院,研究生院,北京,100039
2. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| |
| 摘 要： | 采用离子镀技术于45#钢基体表面在低温(164～115 K)和常温(291 K)条件下沉积Cu膜,通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜研究Cu膜的晶体结构及其表面形貌,采用划痕试验法测量Cu膜的临界载荷(Lc),在真空球-盘摩擦磨损试验机上考察其摩擦磨损性能并探讨其磨损机理.结果表明:基体温度对Cu膜的择优取向影响明显,在常温(291 K)下沉积的Cu膜为(200)择优取向,基体温度降至164 K以下所沉积的Cu膜呈现出明显的(111)择优取向;低温沉积Cu膜的表面较为光滑,其Lc值明显高于常温沉积的Cu膜;低温沉积Cu膜的磨损率明显低于常温沉积Cu膜,表现出良好的耐磨性,这主要是由于低温沉积Cu膜具有(111)择优取向和良好的膜-基结合力的缘故.
|
| 关 键 词： | Cu膜 低温沉积 择优取向 摩擦磨损性能 |
| 文章编号： | 1004-0595（2007）04-0308-05 |
| 修稿时间： | 2006-11-282007-01-21 |
Crystal Structure and Friction and Wear Properties of Cu Films Deposited at Low Temperatures by Ion Plating |
| |
| GAO Xiao-ming,SUN Jia-yi,HU Ming,WENG Li-jun,LIU Wei-min.Crystal Structure and Friction and Wear Properties of Cu Films Deposited at Low Temperatures by Ion Plating[J].Tribology,2007,27(4):308-312. |
| |
| Authors: | GAO Xiao-ming SUN Jia-yi HU Ming WENG Li-jun LIU Wei-min |
| |
| Institution: | 1. State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China ; 2. Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Cu films low temperature deposition preferred orientation friction and wear properties |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《摩擦学学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《摩擦学学报》下载免费的PDF全文 |
|
