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| 中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 | |
| 引用本文： | 张广安,王鹏,陈友明,王霞,闫鹏勋,张俊彦.中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报,2008,28(2):118-122. |
| 作者姓名： | 张广安 王鹏 陈友明 王霞 闫鹏勋 张俊彦 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;兰州大学,等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000 2. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 3. 兰州大学,等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国科学院"百人计划" |
| 摘 要： | 采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低, 耐磨寿命显著提高. |
| 关 键 词： | 中频磁控溅射 Al-DLC薄膜 摩擦磨损性能 |
| 文章编号： | 1004-0595(2008)02-0118-05 |
| 修稿时间： | 2007年8月13日 |
Structure and Tribological Properties of Al-DLC Films Prepared by Medium Frequency Magnetron Sputtering |
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| ZHANG Guang-an,WANG Peng,CHEN You-ming,WANG Xi,YAN Peng-xun,ZHANG Jun-yan.Structure and Tribological Properties of Al-DLC Films Prepared by Medium Frequency Magnetron Sputtering[J].Tribology,2008,28(2):118-122. | |
| Authors: | ZHANG Guang-an WANG Peng CHEN You-ming WANG Xi YAN Peng-xun ZHANG Jun-yan |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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