| 硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析 |
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| 引用本文： | 阮爱武,冯培德,郭秀中.硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析[J].中国惯性技术学报,1998(2):67. |
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| 作者姓名： | 阮爱武 冯培德 郭秀中 |
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| 作者单位： | 西北工业大学，飞行自动控制研究所，南京航空航天大学 |
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| 摘 要： | 介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。关键词
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| 关 键 词： | 微机械陀螺仪，梳状静电驱动，压电驱动，电磁驱动 |
| 修稿时间： | 1997-07-23 |
New Development and Analysis of Silicon Micromachined Gyroscopes |
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| Institution: | Ruan Aiwu Fen Peide (Northwestern Po1ytechnical University)(Flight Automatic Contro Research Institute) (Nanjing University of Aeronautics and Astronautics) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micromachined gyro electrostatic combdrive piezoelectric drive eletromagnetic drive |
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